Produktbeschreibung
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Technische Spezifikationen
| Modell-Nr. | Himalaya-27 |
| Kundendienst | Bereitgestellt |
| Funktion | Hochtemperaturbeständigkeit |
| Entformung | Automatisch |
| Zustand | Neu |
| Zertifizierung | RoHS, ISO, CE |
| Garantie | 12 Monate |
| Automatisierungsgrad | Automatisch |
| Installation | Desktop |
| Antriebsart | Elektrisch |
| Formlebensdauer | >1.000.000 Schüsse |
| Unterstützte Wafer-Größen | 150 mm, 200 mm, 300 mm |
| Kompatible Materialien | Photoresist, Polyimid, Spin-on-Dielektrikum |
| Viskositätsbereich | 15 bis 50.000 Cp |
| Beschichtungsdickenbereich | 0,5 bis 500 Mikrometer |
| Gleichmäßigkeit | ≤±1,5 % (3σ) |
| Defektdichte | <0,1 Partikel/cm² (>0,2 μm) |
| <0,1 Partikel/cm² (>0,2 μm) | ±0,2 °C (über 7-Zonen-Heizplatte) |
| Durchsatz | bis zu 200 Wph (200 mm) |
| Automatisierung | SECS/GEM-Konformität für Fab-Integration |
| Integration | Automatisierte Wafer-Handhabung |
| Transportverpackung | Individuelle oder Holzbox-Verpackung |
| Spezifikation | Standard-Spezifikationen |
| Marke | Himalaya |
| Herkunft | China |